关键尺寸（CD）晶片上的物理尺寸特徵被称为特徵尺寸。描述特徵尺寸的另一个术语是电路的几何尺寸。特别值得关注的是硅片上的最小特徵尺寸，也称为关键尺寸或CD。例如：如果在晶片上的最小尺寸是0.18μm，那幺这个尺寸就是CD。自半导体製造业开始以来，器件的CD一直在缩小，从20世纪50年代初期以大约125μm的CD开始，目前是0.18μm或者更小。半导体产业使用的“技术节点”这一术语描述在硅片製造中使用的可套用的CD。