半导体感测器主要是硅材料，其次是锗、砷化镓、锑化铟、碲化铅、硫化镉等。主要用于製造力敏、热敏、光敏、磁敏、射线敏等感测器。

陶瓷感测器材料主要有氧化铁、氧化锡、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化铝、钛酸钡等，用于製造气敏、湿敏、热敏、红外敏、离子敏等感测器。

金属用作感测器的功能材料不如半导体和陶瓷材料广泛，主要用在机械感测器和电磁感测器中，用到的材料有铂、铜、铝、金、银、钴合金等。

有机材料用于感测器还处在开发阶段，主要用于力敏、湿度、气体、离子、有机分子等感测器，所用材料有高分子电解质、吸湿树脂、高分子膜、有机半导体聚咪唑、酶膜等。