由光源1发出的光束通过聚光镜2得到平行光束,经入射狭缝3后照射到光栅4和5,由于光束的照射,两块交叉放置的光栅会产生条纹,形成的条纹(如图中所示)通过狭缝6进入接收器,当其中一块光栅相对另一块平行移动时,计算机便会读取莫尔条纹移动量,进行精确的分度控制。
基本介绍
- 中文名:莫尔条纹位移控制系统
由光源1发出的光束通过聚光镜2得到平行光束,经入射狭缝3后照射到光栅4和5,由于光束的照射,两块交叉放置的光栅会产生条纹,形成的条纹(如图中所示)通过狭缝6进入接收器,当其中一块光栅相对另一块平行移动时,计算机便会读取莫尔条纹移动量,进行精确的分度控制。
用这种方法製作的位移控制系统称精度可达纳米级别,这种方法对外界温度、压强的变化以及机械扰动不敏感,实现条件相对简单。