截至2018年9月，山西省微米纳米工程技术研究中心占地3620平方米，拥有专业实验室面积2920平方米，拥有万元以上的仪器、设备90余台，研究中心仪器设备总值合计3000多万元。本研究中心所依託的一级学科为“仪器科学与技术”和“测试计量技术及仪器”、“精密仪器及机械”和“微纳技术及仪器”等5个二级学科博士点。

研究中心有四个研究方向：微米纳米技术研究、惯性与导航研究、先进测试技术研究、仪器技术研究。

截至2018年9月，山西省微米纳米工程技术研究中心有固定人员40人，其中教授及研高工8名，副教授11名，其中博士生导师3名；有博士学位人员34名。中心有国家杰出青年基金获得者2名，国家“973”专项获得者1人(首席1人)，国家“863”项目获得者1人，教育部新世纪优秀人才支持 计画入选者1人，山西省学术技术带头人2人，山西省青年拔尖人才1人。