《微纳电子技术》创刊于1964年，月刊，是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。

据2019年5月期刊内页与官网显示，《微纳电子技术》编辑委员会拥有委员38人、顾问委员19人、总编人、责任编辑1人、主编1人、主任1人、副主任7人。

据2019年5月期刊官网显示，《微纳电子技术》第五届理事会拥有常务理事14人、秘书长1人、理事30人、副理事长15人、名誉理事长1人、理事长1人。

据2019年5月7日中国知网显示，《微纳电子技术》总被下载846442次，总被引17946次，出版文献共5952篇，（2018版）複合影响因子为0.500，（2018版）综合影响因子为0.309。 据2019年5月7日万方数据知识服务平台显示，《微纳电子技术》载文量为2897篇，基金论文量为1561篇，被引量为13292次，下载量为126947次，2015年影响因子为0.28。