採用人工场源可以克服天然场源信号微弱的缺点，但是波的非平面波特性决定了处理资料时的複杂性。当发射距是探测深度的3～5倍，高频时非平面波可以近似地看作平面波，低频时则会出现电阻率随频率降低而在双对数坐标图上呈45°上升的近场效应，因此须作近场改正，校正后的数据可看作为平面波产生的结果，然后再採用用MT的方法来分析。所以，MT的反演方法原则上都可用来做近场校正后的CSAMT反演。如不作平面波校正的反演，其有效数据只能取远场的值，而对于近场甚至过渡场的资料都要摒弃不用，这将造成较大的浪费。Pargha S·Routhet ·al.尝试了在一维空间用不做平面波校正的全资料来做CSAMT反演。全资料的CSAMT反演需要有源理论电磁法的正演解，当介质为水平成层介质时有积分解，这方面的反演容易实现，但当电性结构複杂时，就没有解析解，因此其反演问题也就更加複杂。

大多数的电磁反演都为线性反演，最小二乘解法是最传统的，也是行之有效的方法.一维CSAMT反演可以精确地模拟电磁场，但它只限于简单的水平层状模型。如果发射机和接收机间的导电构造较複杂，即2D甚至3D情况下,这种方法就会给出错误解。为了处理有限源效应和地电高维构造Wannamaker在解释野外资料时把一维CSAMT反演和二维MT反演结合起来。若给最小二乘法加一光滑限制，就可得到模型的正则化解，奥克姆反演、最小构造反演和快速鬆弛反演RRI算法都属于这一类型。这些方法在二维资料反演中取得了较好的结果。但在三维反演中,一般方法的套用遇到了困难。我们知道，正演是反演的基础，在电磁法二维和三维正演方法中，最常用的方法是有限差分和有限元方法，模型被剖分成的格线越多，雅可比矩阵就越大，占用的记忆体也就越多，反演时需要解的方程组也就越多，计算机的记忆体和计算速度提高了很多，为电磁法三维资料的处理解释在微机上实现展现了前景。但现有台式计算机的记忆体和速度仍还存在不足，所以就要寻找捷径来提高算法的速度和儘量减少所占用的记忆体，Newman&Alumbagh用集成并行机来处理三维EM源和三维电导率结构问题,在单台微机上一般在最佳化算法上做了努力，快速度鬆弛反演(RRI在计算速度上的优势和共轭梯度反演在占用记忆体上的优势使得这两种算法在电磁反演特别在三维计算中倍受瞩目。